性能特点

l  采用高性能可编程控制器实现逻辑控制。

l  采用彩色触摸显示屏监控，可存储百种用户工艺菜单。

l  结构采用净化处理技术。

l  去离子水电阻率监控。

l  防静电控制。

l  氮气温度控制。

l  腔体温度控制。

l  转轴氮气密封。

l  可选无刷电机驱动。

l  旋转载体定位。

l  故障诊断、显示及报警。

l  可按用户特殊要求配制。