此设备用于2"-6"硅片淀积SiO2, Si3N4等工艺。
设备除装卸片方式为手动外，控制微机对工艺过程及全部参数自动控制
平板PECVD
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| 单价 | ￥0.00 |
| 库存 | 1件 |
| 品牌 | 赛瑞达 |
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