可搭配反射仪使用,可于日后Upgrade (优势)
可量测透明基板,无需背后处理 (优势)
可Upgrade为 in live量测设备 (优势) 采用进口光谱仪,冷却到零下15℃,精度高,速度快,讯噪比较非冷却的传统光
谱仪,可提升256倍之多 (目前业界唯一)
使用步进马达并非Rotating Polarizer,避免马达损坏 (目前业界唯一)
固定量测角度-70度,可避移动时所造成的量测误差与机械损害 (所有光学仪器
都应减少移动)
可远程遥控,很好的协助客户评估设备以及提高售后的效率 (目前业界唯一)
拥有强大的材料分析数据库,建立或更改一个测量Recipe非常轻松。只需按
照名称选取材料,就能够更改基底、环境和膜层的光学常数。 通过比较测量
结果和材料的理论光学常数,能够评价膜层的质量 (优势)
客制化制作,依据客户的样品尺寸提供多种设备规格以供选择 (优势)