用途:用来测量晶圆表面的平整度
主要性能指标 Main performance index
序号 |
性能指标 |
1 |
可测试样品尺寸:直径 ≤152mm |
2 |
电源:220V, 50HZ |
3 |
激光源:670nm |
4 |
基准滤镜平整度:λ/10 |
5 |
配置15寸液晶显示器 With LED display |
6 |
设备尺寸:605mm x 400mm x 500mm (L x H x W) |