主要技术优势
技术起点高，工艺适应性强
动平衡精度高，碎片率小于万分之三
多项专利技术的应用，确保设备运行稳定
航天级关键部件
详细参数：
加工片架、片盒规格：最大兼容156mm×156mm方片或8”圆片
单台片盒数量：2盒、4盒、6盒、8盒
工作转速：100~2400r/min(LXS-400) 100~900r/min(LXS-600;LXS-800)
DI水压力：0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量：12L/min（Max）
N2压力：0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量：200L/min（Max）
N2加热温度：100℃±5℃
外型尺寸：1490×1290×910(mm)