六大专有技术

湿法清洗设备系统集成技术

气/液自动传输及控制技术

材料与化学工程防护技术

温度传递及精确控制技术

晶片自动传输及自动控制技术

溶液流场均匀性控制技术

主要技术特点：

系统结构：设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择

控制方式：采用高性能PLC或工控机实现集中控制，结合单元功能控制简化操作

槽体配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不锈钢等多种材料

功能：恒温控制（加热/制冷）、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等

定制设计：根据用户要求提供工艺配置及技术支持




□    适应晶圆片尺寸：4＂～8＂
□    传输方式：上片盒→浸泡腔体→腐蚀腔体→清洗干燥腔体→收片盒
□    主轴旋转速度：200 ～ 5000rpm ±5rpm
□    DI水兆声喷头：频率1MHz，功率75W
□    溶液过滤精度：21μm  9μm  0.2μm（三级过滤）
□    溶液喷射压力：500～3000PSI（增压）
□    NMP和DI-WATER具有扇性喷射和柱状喷射模式
□    溶液温度范围：常温～85℃，精度±2℃
□    氮气过滤精度：0.003μm
□    设备采用电脑程序控制，能设置并存储超百种工艺程序
□    室内净化级别：100级