采用高性能可编程控制器实现逻辑控制

采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单

结构采用洁净化处理技术

去离子水电阻率监控

防静电控制

氮气温度控制

腔体温度控制

转轴氮气密封

无刷电机驱动

旋转载体定位

故障诊断，显示及报警

CXS系列型号说明

CXS系列型号特征与设备性能、功能的对应关系