MT-12R大平台半导体显微镜
灵活的系统组合、卓越的成像性能、稳定的系统结构,专业应用于工业检测及金相分析领域
各操作机构根据人机工程学设计,最大限度减轻使用疲劳。模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。
全新设计的长工作距专业金相物镜,高倍物镜采用半复消技术。
各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。
人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。
先进的光学设计,支持多种观察技术,充分满足各类超大平台设计,半导体/FPD检测需
全自动化方案,让工业检测更轻松、更便捷、更高效
12寸超大平台设计,为半导体/FPD行业提供最舒适的操作体验
光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
观察筒 |
铰链式正像三通观察筒,0~35°仰角可调;瞳距调节:50mm~76mm;分光比双目,三目=0:100或100:0 |
目镜 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调 高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm,视度可调 |
物镜 |
明暗场半复消金相物镜【5X、10X、20X、50X、100X】 |
转换器 |
明暗场内倾式6孔转换器,带DIC插槽 |
载物台 |
14X12英寸离合式机,移动行程:356mmX305mm机械平台,X、Y方向同轴调节;带反射用金属载物台 |
镜体 |
反射机架,低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑调节松紧装置和随机上限位装置。 内置100-240V宽电压系统,带电动转换器和电动孔径光阑切换按钮。 |
照明系统 |
明暗场反射照明器,带电动孔径光阑,中心可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光附件插槽。 12V/100W卤素灯室,预定中心;PHILIPS 7724卤素灯 |
摄像摄像附件 |
0.5X/0.65X/1XCTV,C接口,可调焦 |
偏光附件 |
起偏镜插板,检偏镜插板 |
可选偏光附件 |
蓝色、绿色、红色、LBD干涉滤色片 |