硅衬底
单晶硅片
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Method Diameter Type Resistivity Thickness Surface Quantity Remark
CZ 2" P<111> 1-20 500±15 DSP 75 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<111> 1-10 280±15 SSP 25
P<100> 0.001-0.005 280±15 DSP 25 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 1-10 500±15 DSP 25 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 1-10 500±15 SSP 100 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
3" P<100> 1-10 500±10 DSP 125 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<111> 1-10 380±15 SSP 100 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
4“ P<100> 1-10 300±15 SSP 25 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<100> 1-10 (Actual 1-3) 525±15 SSP 246 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats, LM
P<100> 1-5 250±10 DSP 14 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N/As<100> 0.001-0.005 525±15 SSP 25 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
P<100> 1-10 800±20 DSP 145 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 1-10 525±15 DSP 125 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 1-10 400±15 DSP 100 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 10-20 525±15 DSP 50 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 5-10 300±10 DSP 125 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 0.01-0.02 500±15 DSP 150 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<100> 1-10 600±15 DSP 30 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<100> 1-10 2000±25 SSP 25 2 SEMI Flats
N<111> 1-5 525±15 DSP 75 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
5" N<100> 1-10 600±15 DSP 65 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
6" P<100> 1-10 675±15 SSP TTV<10um, Bow/Warp<40um, 1 SEMI Flat, Prime
N<100> 2-50 675±50 SSP 25 Test Grade
N<100> 0.01-0.05 360±10 DSP 100 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat


FZ 2“ Intrinsic N<100> >10000 500±10 SSP 25 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 280±10 DSP TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 350±15 DSP 44 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
2" P<111> 5500-10000 280±10 SSP 125 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic <100> >10000 279±15 SSP 150 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
3" N<111> 3000-5000 380±15 DSP 25
Intrinsic<111> 10000-20000 700±20 SSP 67 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic<111> >10000 500±10 SSP 50 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<111> 5000-8000 700±20 SSP 14 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic<100> >10000 380±10 SSP 29 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 380±10 DSP 75 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
4" P<111> >20,000 400±15 SSP 50 TTV<5um, Bow<20, Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic<111-4> >10000 500±10 DSP 65 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
N<100> 4000-6000 400±10 DSP 23 TTV<10um, Bow/Warp<40um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 1500±25 DSP 18 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 500±10 SSP 50 TTV<10um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
Intrinsic<100> >10000 250±10 DSP 100 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<100> 6000-8000 400±10 DSP 104 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<100> 8000-10000 400±15 DSP 18 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> >1000 (44pcs >3600 Ohm-cm) 525±15 SSP 60 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> >5000 525±15 SSP 16 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
N<111> >2000 525±15 DSP 88 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
P<100> 150-500 300±10 DSP 94 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 2 SEMI Flats
6" N<111> >6000 300±10 DSP 36 TTV<6um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic<100> >10000 675um DSP
N<100> >6000 380±10 DSP 14 TTV<5um, Bow/Warp<30um, 1 SEMI Flat
Intrinsic<111> >6000 1000±15 SSP 3 TTV<6um, Bow/Warp<30um, SEMI Notch
8" N-Type/Phos 2000-6000 725±25 SSP 30 TTV<6um, Bow/<30um, SEMI Notch
 
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