X,Y,Z行程 (mm)：624 x 624 x 150，0.5 μm  选项：624 x 624 x 200

X,Y,Z 光栅尺分辨率：0.5 μm，选项： 0.1μm

工作台驱动系统：直流伺服马达XYZ,单一Y轴驱动和Y轴光栅尺

双Y-轴驱动及Y轴光栅尺

Zui da速度：X,Y - 200mm/秒;   Z - 100 mm/秒

Zui da承载量：50 kg 均匀分布在玻璃平台上

100 kg l均匀分布在坐标轴上

光学系统：双重放大视场可交换式前置镜头，VIEW2.5X标配镜头

单一倍率，工作安装背光和视场交换式前镜产学研，标配为VIEW 1X变焦管

和2.5X镜头

计量软件:

可选项: Elements

可选项Measure-X

可选项软件模块:

区域多点自动ju jiao

连续捕获图像 (CIC)

先进的图像滤光和图像拼接，自定义

UI操作软件

MeasureFit  Plus

SmartProfile

3D GD&T 评估软件

VMS 离线编程软件

数字输入/输出Digital I/O

Benchmark的应用范围包括：

半导体/电子

BGA, μBGA, CSP, 倒装xin片, MCM, bump-on-die

引线框，引线接合，柔性线路板，连接器

SMT元件贴装

锡膏/环氧数脂胶点

xin片载体和托盒

喷墨打印机墨盒

光纤组件和MEMs

数据存储

悬置件

滑块和悬臂组(HGA)

磁盘介质基板

精密注塑和机加工件

模具和刀具

医疗设备

燃料喷射部件

手表组件