IGBT静态参数测试系统简介
普赛斯PMST功率器件静态参数测试系统，集多种测量和分析功能一体，可以精准测量不同封装类型功率器件（如MOSFET、BJT、IGBT以及SiC、GaN第三代半导体等）的静态参数，具有高电压和大电流特性、μΩ级J确测量、nA级电流测量能力等特点。支持高压模式下测量功率器件结电容，如输入电容、输出电容 、反向传输电容等。
普赛斯PMST功率器件静态参数测试系统配置有多种测量单元模块，模块化的设计测试方法 灵活，方便用户添加或升级测量模块，适应测量功率器件不断变化的需求。
系统组成
普赛斯PMST功率器件静态参数测试系统，主要包括测试主机、测试线、测试夹具、电脑、上位机软件，以及相关通讯、测试配件等构成。整套系统采用普赛斯自主开发的测试主机，内置多种规格电压、电流、电容测量单元模块。结合专用上位机测试软件，可根据测试项目需要，设置不同的电压、电流等参数，以满足不同测试需求。测试数据可保存与导出，并可生成I-V以及C-V特性曲线。此外，测试主机可与探针台搭配使用，实现晶圆级芯片测试；也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。
测试主机内部采用的电压、电流测量单元，均采用多量程设计，测试精度为0.1%。其中，栅极-发射极，最大支持30V@10A脉冲电流输出与测试，可测试低至pA级漏电流；集电极-发射极，最大支持6000A高速脉冲电流，典型上升时间为15μs，且具备电压高速同步采样功能；最高支持3500V电压输出，且自带漏电流测量功能。电容特性测试，包括输入电容，输出电容，以及反向传输电容测试，频率最高支持1MHz。
系统特点
高电压：支持高达3.5KV高电压测试（Z大扩展至10kV）；
大电流：支持高达6KA大电流测试（多模块并联）；
高精度：支持uΩ级导通电阻、nA级漏电流测试；
丰富模板：内置丰富的测试模板，方便用户快速配置测试参数；
配置导出：支持一键导出参数配置及一键启动测试功能；
数据预览及导出：支持图形界面以及表格展示测试结果，亦可一键导出；
模块化设计：内部采用模块化结构设计，可自由配置，方便维护；
可拓展：支持拓展温控功能，方便监控系统运行温度；
可定制开发：可根据用户测试场景定制化开发；
系统参数
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项目 |
参数 |
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集电极-发射极 |
Z大电压 |
3500V |
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Z大电流 |
6000A |
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精度 |
0.10% |
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大电压上升沿 |
典型值5ms |
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大电流上升沿 |
典型值15us |
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大电流脉宽 |
50us~500us |
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漏电流测试量程 |
1nA~100mA |
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栅极-发射极 |
Z大电压 |
300V |
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Z大电流 |
1A(直流)/10A(脉冲) |
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精度 |
0.05% |
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Z小电压分辨率 |
30uV |
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Z小电流分辨率 |
10pA |
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电容测试 |
典型精度 |
0.5% |
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频率范围 |
10Hz~1MHz |
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电容值范围 |
0.01pF~9.9999F |
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温控 |
范围 |
25℃~150℃ |
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精度 |
±1℃ |
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测试项目
集电极-发射极电压Vces，集电极-发射极击穿电压V(br)ces、集电极-发射极饱和电压Vcesat
集电极截止电流Ices、栅极漏电流Iges
栅极-发射极电压Vges、栅极-发射极阈值电压Vge(th)
输入电容、输出电容、反向传输电容
续流二极管压降Vf
I-V特性曲线扫描，C-V特性曲线扫描等
1000A/3500V第三代功率半导体器件静态测试系统测试夹具
针对市面上不同封装类型的硅基功率半导体，IGBT、SiC、MOS、GaN等产品，普赛斯提供
整套测试夹具解决方案，可用于T0单管，半桥模组等产品的测试。
