高纯氧化铝抛光液

检测项目

产品参数

测试方法

晶相

α

XRD

二次粒D50（um）

700-800

激光粒度仪

纯度

99.99%

ICP-OES

PH值

13.5

PH测试仪

固含量

20%

卤素水分仪

产品优点

1、具有较高的移除速率。

2、晶体表面低表面粗糙度。

3、水溶性浓缩液清洗简便，不会形成玩固结晶。

4、不含硫、磷、氯等添加剂，不污染环境。

浆料悬浮性好，颗粒均匀，性质稳定

应用领域

适用于蓝宝石、砷化镓、磷化铟、单晶硅等半导体材料及陶瓷基板等高端电子材料。