4英寸5英寸光刻掩膜版盒
|
类型 |
材料 |
尺寸 |
厚度 |
关键尺寸 |
精度 |
|
镀铬玻璃掩膜版 |
苏打 |
2.5" |
2.3mm |
1um |
±0.20 |
|
苏打 |
3" |
1.5mm |
5um |
±0.50 |
|
|
苏打 |
4" |
2.3mm |
1um |
±0.20 |
|
|
苏打/石英 |
5" |
2.3mm |
1um |
±0.20 |
|
|
苏打/石英 |
6" |
3.0mm/5.3mm |
2um |
±0.20 |
|
|
苏打 |
7" |
3.2mm |
2um |
±0.20 |
|
|
苏打 |
9" |
3.6mm |
2um |
±0.20 |
|
|
苏打 |
定制尺寸 |
－ |
1um |
±0.20 |
|
|
金属掩膜版 |
不锈钢/铝/钼 |
定制尺寸 |
0.05mm-5mm |
10um |
10um |
|
玻璃分划板/ |
苏打/石英 |
定制尺寸 |
－ |
1um |
±0.20 |
|
数据处理 |
任意格式数据处理，图形数据转换，图形绘制设计。 |
||||