氮化镓
方形氮化镓自支撑衬底 东莞中镓
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方形氮化镓自支撑衬底
产品型号
Item
SF-ncA-L18
SF-ncB-L18
尺寸  
Size (mm)
(10.0±0.5)×(15.0±0.5);Customized size
厚度  
Thickness (um)
330±25 430±25
总厚度变化  
TTV (um)
≤10
弯曲度  
BOW (um)
≤10
表面粗糙度  
RMS (nm)
≤0.2 (5umx5um)
晶向  
Orientation
C-axis(0001)±0.5°
导电类型
Conduction Type
Un-doped
N-type
N-type 
High-doped
N-type
     电阻率(300K)      Resistivity(Ω.com)
 
≤0.5
≤0.05  ≤0.01
孔洞密度  
Void Density(D≥50um)(pits/cm2)
≤2
位错密度
Dislocation Density
(cm-2)
Grade A Grade B Grade C
105 
1~5×106 
5×106~1×107
有效面积
Useable Surface Area
>90%
包装 
Package
Packaged in individual containers in a class 100 clean room environment. 

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