东虹鑫Wafer frame Cassette的整体选用进口6061铝型材经过CNC精密加工而成,精度高达±0.01mm,然后把精密加工好的配件进行表面氧化处理使其表面光滑无毛刺,存放晶圆片的时候不会卡料,组装好的成品晶圆框架,完美符合目前市场上主流设备的使用。
2"Wafer frame Cassette参数:
材质:6061铝型材
外形尺寸:68.8*59*197 mm
槽距:7 mm
槽间距:3 mm
起始位:13 mm
表面处理工艺:黑色喷砂氧化
配件有:底板、顶板、侧板、不锈钢拉手把
可根据要求定制非标款Wafer frame Cassette