硅衬底
替代SUBA800,IC1000抛光垫
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单价 1200.00
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品牌 LSH
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 LSH 西安绿山半导体科技有限公司 PU含浸拋光墊- LSH-PGD series 800SUBA-00产品硬度 84-89 IC1000-100以上主要 用於軟拋製程,依照纖維之織法及PU的含量量可依照密度區分為三種等級,可搭配不 同的開溝法來來設計不同拋光效能之表層。 可撘配不同的拋光液使 用,適合於:光電元件( Sapphire, Si wafer…)、玻璃元件軟拋、 金金屬元件軟拋…,主要為拋光製程中增進平坦度、去除刮傷重要的製程。
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