在抛光的过程中，有些样品的硬度比较高，比如硅和碳化硅，通过聚氨酯抛光盘可以用来抛光这种硬度比较高的晶圆，可以大幅提高抛光效率，节省工艺时间。聚氨酯盘一般配合碳化硼粉使用