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舱体多层的设计使它能够提高生产效率
它能提供良好的表面清洁功能和改性效果
它的优点是可靠和可重复性，即便是连续工作
PT-300由以下几个基本单元组成（如需了解具体配置及参数请联系我们）
n 一个射频电源
Ø 40KHz: 0-1000W; 0-1500W; 0-2500W
Ø 13.56MHz: 0-1000W
n 质量控制流量计；2-3个可选
n 一个不锈钢舱体；尺寸W 600mm ; H800mm; D 600 mm
n 自动控制系统；PLC系统
n 皮拉尼真空计
n 真空泵
设备主要应用领域如下
l 半导体制造
l LED外延及封装
l 汽车制造
l 航空航天
l 科研院所
l 光伏新能源
l 生物医学
l 液晶显示
l 消费电子（手机、电脑等零配件的生产制造）
l 信息通信
l 精密光学
l 其他
舱体内部结构根据不同生产需求可量身定制
