A. 技术参数
1. 分辨率： 5nm (30kV, SE Image)
8nm（30kV, BSE Image）
2. 放大倍率：30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)
3. 加速电压 : 1kV to 30kV (1Kv/ 5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
4. 对焦方式：自动/手动同时支持两种模式
5. 图像：
二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image
背散射电子图像-（BSEI）- Backscattered Standard Mode
6. Observation mode : Standard Mode
7. 电子枪系统:
灯丝类型：预对中钨灯丝
偏压系统：自动偏压方式
电子枪校正：手动方式
8. 透镜构成
i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜
ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜
9. 探测器类型：E-T Detector
10. 载物台系统：5轴操控
- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°（自动控制）
- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
11. Image shift: X, Y Image Shift (100㎛)
12. 样品最大尺寸 :80mm in diameter, 35mm in height
13. 图像扫描速度
1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
14. 自动功能
自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节
15. 图像存储方式
BMP, JPEG, PNG
16. 数据显示
放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等
17. 真空系统
全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min
-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空时间：3分钟以内
18. 操控系统：鼠标和键盘
19. 运行系统：电镜专用台式电脑
-OS : Microsoft Window 7
-CPU : Intel CoreTM i5 or High version
-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version
20. 软件：
-图像文件打开，编辑，存储功能
-长度，面积，角度等测量功能
-设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等
21. 体积：
设备主机-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set
控制主机-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
22. 重量：98kg
23. 设备环境：
-温度：15℃~30℃
-湿度：70% or less
-电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
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