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性能参数：
· Z向行程：3mm
· Rx/Ry行程：±12.5mrad
· Z向重复定位精度：14.9nm
· Rx重复定位精度：12.2μrad
· Ry重复定位精度：15.1μrad
· 负载:1kg
· 整定时间:≤100ms
平台特点：
· 机械设计紧凑：在紧凑空间中实现三自由度 (Z, Rx, Ry) 运动
· 动态性能优秀：快速定位与对准、高速扫描和轨迹跟踪、宽频域扰动抑制与防抖等
· 可内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
· 中空结构设计,可作为光学式检测或导通测试等运动模组使用
应用领域：
半导体：晶圆检测与量测、硅片对准与定位、半导体封装、芯片与器件测试等
主动光学：超分辨成像、电子显微成像、大视场成像、光学对准与操作等
精密制造：激光加工、增材制造、光学加工、MEMS制造与检测等
