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XY长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
-
超长行程：10mm~数百mm
-
高分辨率：传感器分辨率为1.2nm
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超高精度：重复定位精度小于5nm
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运动速度：可达10mm/s
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高稳定性：保持力可达8N
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超高真空兼容性；
-
运动模式：支持开环与闭环
-
轻量化、结构紧凑，高可靠性
-
模块化设计，摩擦单元可替换
应用领域：
-
扫描电镜（SEM）样品操纵
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主动光学
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超分辨成像样品移动
-
大范围电子束直写（EBL）
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微纳装备及制造
-
集成电路制造与检测
-
高真空样品精度对准及调姿
-
纳米聚焦与扫描
-
显微及纳米CT
规格参数：
|
型号 |
NH-XY-16A |
NH-XY-16B |
NH-XY-36A |
NH-XY-36B |
NH-XY-36MS |
|
运动轴 |
X轴、Y轴 |
X轴、Y轴 |
X轴、Y轴 |
X轴、Y轴 |
X轴、Y轴 |
|
传感器类型 |
光栅编码器 |
光栅编码器 |
光栅编码器 |
光栅编码器 |
光栅编码器 |
|
行程(mm) |
16 |
16 |
36 |
36 |
36 |
|
保持力（N） |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
最大承载力（N） |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
|
尺寸（mm） |
52x52x22.5 |
60x60x26.6 |
52x52x22.5 |
60x60x26.6 |
60x60x26.6 |
|
重量 ( g) |
150 |
160 |
150 |
160 |
160 |
|
速度（mm/s） |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
分辨率（nm） |
1.22 |
12.5 |
1.22 |
12.5 |
12 |
|
闭环重复定位精度（nm） |
5 |
50 |
5 |
50 |
50 |
|
材料 |
铝合金/钛合金 |
||||
|
真空度 (mBar) |
超真空兼容（5X10-9 ） |
||||
纳米定位平台
