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1.预处理（Pretreatment）系统：主要由多介质过滤器、活性炭过滤器、盘式过滤器、软化器等设备组成。
2.微滤装置（MF）
工作原理：
微滤是利用微滤膜的筛分机理，在压力驱动下，截留直径在0.1～1μm之间的颗粒，如悬浮物、细菌、部分病毒及大尺寸胶体，多用于给水预处理系统。
微滤技术特点：
①能将液体中大于额定孔径的微粒全部拦截，过滤速度快；
②具有良好的化学稳定性、无纤维和碎屑脱落、不重新产生微粒影响滤出水水质；
③压力波动也不会影响过滤效果；
④占地面积小、操作简便、系统运行稳定可靠、易于控制、维护以及处理效率高。
3.超滤装置（UF）
工作原理：
超滤是一种以筛分为分离原理，以压力为推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005～0.01μm范围内，可以有效去除水中的微粒、胶体、细菌和高分子物质。
超滤系统主要由超滤膜元件、水反洗单元、化学反洗单元、清洗单元、PLC控制单元等构成。
主要性能指标：
|
胶体去除率 |
悬浮物去除率 |
出水浊度 |
出水SDI |
回收率 |
|
>99% |
>99% |
<0.15NTU |
<2 |
>90% |
4.反渗透装置（RO）
工作原理：
在高于溶液渗透压的作用下，依据其它物质不能透过膜而将这些物质和水分离开来。由于反渗透膜的孔径非常小（仅为10A左右），因此能够有效去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等（去除率高达97%～98%）。
反渗透装置主要由高压泵、反渗透膜元件、加药单元、化学清洗单元、PLC控制单元等构成。
进水水质要求：
|
浊度 |
DIS |
pH范围 |
游离余氯 |
水温 |
|
<1NTU |
<5 |
4～11 |
<0.1mg/L |
5～45℃ |
5.EDI电除盐设备（Electrodeionization）
工作原理：
EDI电除盐是一种将离子交换术技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。
EDI电除盐系统主要由EDI模块组件、电源装置、浓水循环装置、加盐装置、化学清洗装置和自动控制装置组成。
主要性能指标：
|
出水电阻率 |
SiO2去除率 |
回收率 |
脱盐率 |
|
>16MΩ.cm |
>90% |
>90% |
>99.5% |
EDI电除盐设备优点：
①连续运行，操作简单； ②设备占用空间小； ③水质稳定； ④无危害性废液排放；
⑤流量大，成本低； ⑥系统标准化； ⑦方便安装和维护。
6.离子交换设备（Ion Exchange）
工作原理：
离子交换是通过离子交换树脂，与水中可交换离子之间进行可逆性交换，从而去除离子。离子交换技术具有分离效率高、应用范围广、投资建设费低、出水水质高、树脂可反复使用（具有再生能力）等特点。
7.超纯水系统工艺流程图:
超纯水系统工艺流程图
8.工业纯水、超纯水设备的运用领域：
①电子及太阳能光伏行业用水；
②饮料、食品、制药行业用水；
③电力、钢铁、造纸行业用水；
④海水淡化等公共水处理系统；
⑤玻璃、电镀、电池、建材、石油化工、纺织印染、精细化工等领域所需的生产用水。
