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专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。
叠片式上料,传送式送片,花篮式收料,自动完成叠片到裝篮过程;
支持OCR字符和点阵字符,全自动生产加工;
工业级激光器,稳定可靠,免维护;
光束质量好,标识精细,可读性好;
操作界面友好,PLC全程控制,使用操作方便。
技术参数
技术规格 项目 单位 数字
加工尺寸 晶圆尺寸 inch 5英寸
激光器功率 激光器出口处 W 20瓦
激光器波长 红外光纤激光器 nm 1064纳米
定位精度 mm 0.05毫米
重复精度 mm 0.02毫米
振镜 最大扫描速度 mm/s 7000毫米/秒
振镜类型 数字/模拟 高速数字式振镜
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