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    高精密晶本平面减薄磨床

    产品品牌

    豪特曼

    库       存:

    99

    产       地:

    中国-河南省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:豪特曼

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-磨削机

      1、 技术规格:

    编号

    项  目

    单位

    机型:S614

    1

    磁台尺寸

    mm

    150*350

    2

    工作台面尺寸

    mm

    230*600

    3

    工作台移动尺寸(前后*左右)

    mm

    180*520

    4

    左右

    移动

    (Y轴)

    最大行程

    mm

    520

    5

    最大移动速度

    Mm/min

    30000

    6

    直线电机

    N

    MAX.1600

    7

    分辨率

    mm

    0.0001

    8

    前后

    移动

    (X轴)

    最大行程

    mm

    180

    9

    最大速度

    Mm/min

    12000

    10

    伺服电机功率

    KW

    1.8

    11

    分辨率

    mm

    0.0001

    12

     

    上下

    移动

    (Z轴)

    最大行程

    mm

    350

    13

    最大速度

    Mm/min

    12000

    14

    伺服电机功率

    KW

    1.5

    15

    分辨率

    mm

    0.0001

    16

    砂轮尺寸(外径*厚度*内径)

    Deg

    (100-205)*(13-19)*31.75mm

    17

    装机总功率

    KW

    10

    18

    机械润滑

     

    定时自动

    19

    外形尺寸(长*宽*高)

    mm

    1750*1800*2000

    20

    设备重量

    KG

    3500

     

    2、 机床精度:

    经过豪特曼光学曲线平面研磨,需达到如下标准精度要求:(不同材质工件选用不同砂轮)

    No.

    磨削方式

    工件

    平面度

    粗糙度

    1

    平面

    试样件100*300mm

    ≤0.002mm

    ≤Ra0.2

       注:粗磨 (一般情况研磨量 0.03~0.06mm);精磨 (一般情况研磨量0.005~0.02mm)

    一、 设备描述:

    1﹑本体

    本体及构件采用米汉纳高级铸铁FC30一次铸成,经人工正常化热处理,再经过六个月以上自然时效处理,构件加工采用YASDA、MITSUI SEIKI、TOSHIBA 、ELB等世界一流设备一次装夹加工,精密尺寸可达微米级,确保设备基础构件高精度。

    2﹑主轴系统

    主轴采用前四后二轴承式结构,均在恒温无尘车间安装,搭配P4级超精密角接触滚珠轴承并作预压处理,轴承与轴芯组合后,主轴跳动控制在0.001mm以内,具有温升小、噪音低、振动小的特点。

     

    3﹑传动系统

    左右移动Y轴采用直线电机结构,最大驱力可达1600N,配置进口高精密光栅尺,超高的定位精确度,最小进给可达0.0001mm。X轴和Z轴采用C1级滚珠丝杆,静压润滑可降低摩擦与交互影响,并可增加刚性和定位精度。

     

    4﹑修砂装置

    采用两种不同的修砂刀,配合三轴联动进行修砂,可轻松实现砂轮的端面及外轮廓的成型修整。

    5、设备详细结构图

     

     

    设备配置:

    1、标准附件

    序号

       

    品牌/型号

    产地

    数量

    1

    数控系统

    莱纳克

    上海

    1套

    2

    直线电机

    沙迪克

    日本

    1套

    3

    光栅尺

    法格

    西班牙

    1套

    4

    伺服电机

    安川

    日本

    2套

    5

    电控装置

    富士

    日本

    1套

    6

    滚珠丝杆

    THK

    日本

    2套

    7

    直线导轨

    THK

    日本

    2套

    8

    润滑油系统

    宝腾

    台湾

    1套

    9

    砂轮电机

    东菱

    台湾

    1台

    10

    工作灯

    ONN

    深圳

    1组

    11

    修整座 

    豪特曼

    东莞

    1套

    12

    水泵

    九维

    台湾

    1套

    2、特殊附件(选配)

    序号

    项目名称

    厂牌/型号

    产地

    数量

    1

    磁铁+纸带过滤装置

    150L

    东莞

    1套

    2

    全罩式钣金

    定制

    东莞

    1套

     

    装机环境要求:

       

    1

    电源电压                                 

    380V

    2

    装机总功率                               

    10KW

    3

    操作环境温度                                

    5-40℃

    4

    磨削液过滤方式

    沉淀或磁铁纸带过滤

    5

    冷却水泵

    0.25KW

    6

    冷却水箱

    150L

     

    标准技术文档

    No.

                

     

         

    1

    操作使用说明书                                

    一本

    中文

    2

    设备出厂合格证                   

    一份

    中文

    3

    出机清单                                 

    一份

    中文

    4

    工具箱附件清单                                

    一份

    中文

    5

    交机验收单

    一份

    中文

     

    工件磨削工艺:

    1、工件图纸:客户自定

    2、工件材料:客户自定

    3、工件磨削方式:

    4、生产节拍:

     

    设备预验收:

    1、预验收的条件:

    (1)买方需在合同及技术协议签订前提供确认的磨削工件相关图纸、实样和试验规范要求;

    (2)卖方对买方所提供的所有技术资料,负有保密的责任;

    (3)预验收时间将由卖方在预验收前10天通知买方,买方准备好相关工件10支发给卖方或买方根据情况带工件到卖方工厂现场验收。

    (4)卖方应在买方人员到达设备生产厂前,做好预验收的准备工作。

    (5)砂轮参数将由卖方根据客户提供图纸自行选配,合同签定后配置相关砂轮。

    2、预验收内容和标准:买卖双方达成的验收规范,按买方提供的图纸标准进行。

    (1)设备外观检查。

    (2)设备的操作,维修的方便性(依照卖方机床设备之设计为准)。

    (3)设备的强度,刚性对质量的影响(依卖方提供之设备精度检验表为准)

    (4)设备运行的实测记录(空、满负荷运转时间、内容等)。

    (5)设备的各主要性能指标实测记录。

    (6)对主要零部件的检验记录抽查和装配记录抽查内容。

    (7)对重要配件的确认。

    (8)对可磨削的产品连续加工10件,达到图纸要求且设备运行正常。

    (9) 预验收工件在磨削过程中允许卖方加工出的废品将与合格试件或可与出货机台一起运买方。

    3、在预验收过程中买方有权对设备提出合理的整改意见,经双方同意后卖方可以整改;

    4、预验收合格,卖方签署预验收文件后,卖方才可发运该设备给买方。

     

    安装调试及终验收

      1、设备到达买方后,卖方将派出相关技术人员对该设备进行安装、调试。

      2、安装调试至设备正常工作具体内容见《交机验收单》。

      3、卖方将根据实现情况现场进行工件的磨削,达到图纸要求,由买方验收人员签字后即为终验收合格。

    技术培训及服务(限中国大陆):

    1、卖方设备到达买方并作终结验收合格一年内为保固期,正常使用情况下损坏免费保修(人工和零件均为免费),保固期后卖方长期为买方提有偿服务。

    2、卖方免费派技术人员对买方操作人员进行以下内容的培训: 磨床正常调试,砂轮更换,液压油路保养,油封布司更换,电器组件的正常维护,磨床操作安全规范,磨床操作基本知识,磨床基本故障判断等 。

    3、买方需要提前安排磨床操作人员,培训时间为1-3个工作天,由于买方操作人员问题而造成设备无法交接和培训,责任由买方承担。如果买方要求延长培训时间,将根据买方培训收费标准收取相关费用。

    4、卖方技术人员的培训期间,买方免费提供午餐,其它食宿费用由卖方自行承担。

    5、对于设备故障投诉,卖方在12小时内给出响应并提供解决方案,48小时内可派人到达现场解决问题。

    注:本公司还是日本冈本平磨磨床的中国一级代理商,可以为您提供进口磨床的相关服务。

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