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    CDS供液柜

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备

    库       存:

    10

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    10000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备

     Ø 输送系统采用气动隔膜泵(第四节IPA 采用不锈钢气动隔膜泵)将用户原液桶的化学液输送至设备清洗槽,其中化学液输送能力不小于10L/min

    Ø 每种化学液采用一备一用双桶单泵配置,同时具备漏液报警,原液通低液位报警等功能

    Ø DI水隔膜泵冲洗功能是指用DI水冲洗化学液管路,防止操作人员因管路内残留化学液而导致的危害隐患

    Ø 所有化学液输送管路PFA管外须有PVC外套管,防止漏液时化学液漏到CDS设备或机台外部

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