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沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。
> 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术,频率稳定度高;
> 射频电源有着很好的功率稳定度;
> 适应多种驻波比的负载;
> 拥有完善的保护电路,保证射频电源可靠运行;
> 电源功放使用贴片型半导体三极管制作,寿命比传统分立式三极管更长;
固态射频电源应用范围:
半导体工业方面如等离子体刻胶、等离子蚀刻 、 RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源等
固态射频电源更多详细参数请见:http://www.wattsine.com.cn/productview-16-40.html
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