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Santis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜，可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。
优点：
1、控制可\达300毫米的晶圆
2、高\效的CL-SEM扫描成像效率
3、同时进行电镜成像和光学信号采集
4、边缘检测，晶圆准确定位(优于10μm)
5、对晶圆翘曲度自动映射和调整
特点：
Santis 300系统提供3种不同的采集模式，为不同的需求和应用量身定制:
• 面扫描模式（FWBrush模式）
• 线扫描模式（AWPix模式）
• 多点扫描模式
工业市场应用：
1、GaN 及其应用:
高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例，LED故障影响安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性；LED故障会使人的生命处于危险之中，例如在灭菌和消毒应用中。
2、光子学：激光光子学
3、电力电子应用 GaN：电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装，例如物联网或汽车应用
4、II-VI族材料：GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子；电力电子SiC ；μLED
其他应用举例：
微观结构发光二极管(MicroLed)
LED质量控制
GaN中的螺纹位错缺陷计数
碳化硅衬底质量控制
