快速定量阴极荧光 CL-SEM系统 Allalin_电子显微镜_显微镜分类_半导体测试设备_设备馆

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简介

Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极荧光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场/快速扫描同时获得扫描电镜成像与高光谱或全色CL图。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得最\佳的阴极荧光性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检测，在大视场（高达300µm）下具有优\越的光子收集效率。因此，定量阴极荧光，其中与仪器相关的工件可以从本质上排除作为光谱特征或对比度的原因，这使阴极荧光首\次变的可信。

Allalin是为那些需要遵循严格的技术路径和快速获取非\常精\确的光谱信息而设计的，而这些信息是传统方法无\法\企\及的。在半导体故障分析、开发和研究中，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和定位提供了无\与\伦\比的解决方案。经过验证的数据类型包括位错密度、材料成分波动、应变、掺杂剂类型和浓度的测量；以及其他广泛的应用。在科学研究中，Allalin能够创建纳米分辨率的光谱图，这使得它成为深\入了解纳米尺度材料物理特性的终\极\工具。 Allalin拥有一套全\面的功能选项：覆盖紫外-红外波长范围的各种探测器选择、SE检测器、稳定的低温样品台和高灵敏度的EBIC（电子束感应电流）检测解决方案。

优势：

性能优势一个高\度精\密集成化的CL-SEM系统

– 将光学收集放在电子柱内

– 对于CL，需要零光学对准

– 在300µm的视野（FOV）范围内最\高的收集效率

– 确保化学发光均匀性和再现性，使系统定量和定性。定量：在300µm的大FOV（无渐晕）下，光子收集效率恒定（±1%）；在不移动样本的情况下，执行 300µm的图谱：阴极荧光结果可重复且可比较

– 使用近光剂量，减少了对敏\感样品造成光束损坏的可能性

– 快！单次高光谱CL-map测量时间从18秒到30分钟不等，而竞\争\对\手是30分钟到数小时

– 同时生成SEM图像和高光谱CL图像，而不会降低电子探针的尺寸

– Schottky FEG适用于高电流密度：30 pA至300 nA – CL模式下的扫描电镜最\高分辨率：低至3nm

– 直观的用户界面和专\用软件 – 触摸屏控制，具有易于导航的基于上下文的GUI，无需专家操作工具

– 专\用Attomap高光谱分析软件（见单独的手册）

– 具有低温选项的高精度纳米定位工作台（10 K至室温）

– 高\通用性：光学集线器，用于在更大的光谱系统中集成Attolight CL仪器或补充其功能

应用示例 ：

– 纳米半导体光学特性

– 晶体缺陷检测和定位（螺型位错、堆垛缺陷、掺杂物 等）

– 纳米级成分波动的测定

– 掺杂计量

– 失效分析

– 纳米光子学