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1、该仪器是一种双磁传感器系统,可以将SSM工具的性能扩展到模具(可以是全晶片,也可以是复杂的3D TSV或线焊设备)。该仪器使用非破坏性技术在模具、封装和PC板层面创建设备当前图像。然后,当前图像可以与光学基准和设计数据结合使用,以定位三维静态缺陷。
2、该仪器将超导量子干涉器件传感器(SQUID)的灵\敏\度与高分辨率磁阻传感器相结合。采用两步方法,通过SQUID可以非常快速地映射设备内部电流产生的磁场,然后通过高分辨率传感器再次进行高\精\度和分辨率的映射。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透,所以不需要对设备进行任\何方式的反处理就可以开始定位故障。
3、此外,两个传感器均只需要很小的电流,这样可以保护被测设备免受进一步的损坏,并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的唯\一选择。
4、该仪器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和电阻开启。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样,电流)取决于设备的要求。
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