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微波等离子体（此处特指2450MHz频率），相较于中频、高频、射频等电磁频段，其振荡频率更高，可使等离子体中的电子在更小的功率下可以获得更多的能量，等离子体中的电子密度和活性反应物质密度更高。
低温等离子体中电子温度远高于离子温度，在具有高能活性可以处理被加工材料表面的同时，在材料表面产生的热效应小，不会使材料被热解或烧蚀，具有独特的应用价值。
沃特塞恩研发的微波常压低温等离子喷枪由沃特塞恩固态微波源作为能量激发源，稳定度高、使用寿命长，可使用多种气体，等离子温度可调整，可适应多种应用
