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TM6探针台 TM/6 inch Probe Station
产品工作原理:
手动探针台是广泛应用与半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。
手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。
产品应用范围:
手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。
产品特点:
适用6英寸各种半导体器件的高精度测试
同轴驱动CHUCK
可以升级做射频测试
20X~2000X 光学显微放大
无后座力移动
可选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置
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CHUCK(卡盘):
尺寸:6英寸,圆形(方形可选)
材质:不锈钢(可升级镀金)
旋转角度:0-360°带角度锁定,精度0.1°
X-Y移动行程:6" x6",移动精度:5um(可升级为1um精度)
Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件
显微镜控制:
显微镜放大倍率:20X~2000X
显微镜X-Y轴行程:2" x2"
在探针台本体的功能设计上增加了显微镜的气动升降或者显微镜倾仰装置,使在测试过程中更换物镜和样品更为方便,避免了会有碰伤样品和镜头的问题