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TM4探针台 TM/4inch Probe Station
产品工作原理:
手动探针台是广泛应用与半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。
手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。
产品应用范围:
手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。
产品特点:
紧凑的结构,轻巧的重量;
结构设计合理,经济实用;
探针操作灵敏,直线度高;
便于维护;
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CHUCK(卡盘):
尺寸:4英寸,圆形(方形可选)
材质:不绣钢(可升级镀金)
旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1
X-Y移动行程:4" x4"
移动精度:10um(可升级为1um精度)
平坦度:10um
吸附孔:中心孔径最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为4"X4"
尺寸:
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400mm长 x 400mm宽 x 400mm高(带显微镜)
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重量: 30 Kg(带显微镜)
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