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    三坐标测量仪

    应用于半导体行业:

    半导体测试设备-其他测试设备类

    产品品牌

    思瑞

    规格型号:

    1050*1535*2247

    发货期限:

    1-2周天

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    10

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    100000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:思瑞

    型号:1050*1535*2247

    所属系列:半导体测试设备-其他测试设备类

       • 先进的全铝技术,横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金,温度一致性更佳;

      并降低了运动部件的重量和测量机在高速运行时的惯性,保证高速高精度;

    • 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨不易磨损

    • 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;

      同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩

    • X向采用精密60°三角梁技术,相比矩形横梁,重心更低,质量刚性比更佳,运动更加可靠

    • Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,有效消除了运动扭摆,保证了测量精度和稳定性

    • Z向采取气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,

      提高了测量机的精度和长期稳定性

    • 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位

    • 采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了机器的动态性能和测量精度

    • 软件为PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM),功能强大,易学

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