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应用：
◆表面粗糙度测量
◆平面度测量
◆共面性测量
规格：
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技术规格 |
S |
M |
L |
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有效视觉角度 |
5×5平方微米 |
33×33平方毫米 |
55×55平方毫米 |
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横向分辨率 |
5微米 |
17微米 |
29微米 |
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扫描范围 |
50毫米 |
50微米 |
100毫米 |
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扫描速度 |
100微米/秒 |
90微米/秒 |
90微米/秒 |
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工作距离 |
40-90毫米 |
40-80毫米 |
50-100毫米 |
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精度（粗糙度） |
50纳米 |
50纳米 |
80纳米 |
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精度（平整度） |
30纳米 |
30纳米 |
50纳米 |
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精度（阶梯差50微米） |
500纳米 |
500纳米 |
500纳米 |
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重复性（阶梯差50微米） |
100纳米 |
100纳米 |
100纳米 |
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