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1、永磁同步空气电主轴； 4.5KW 6000 rpm
含有；高精度编码器、同步变频控制器、空气压力开关、三级精密过滤器、冷却水位保护开关
2、电主轴参数
额定转速 3000 rpm 最高转速 6000 rpm 额定频率 200Hz 最高频率 400Hz
额定电压：380V； 额定功率：4.5KW； 额定扭矩：14.3Nm ；最高扭矩：25Nm；
3、粗磨主轴工作转速 1500 rpm； 4、精磨主轴工作转速 3000 rpm
5、粗、精磨头滚珠丝杆运动行程 170mm；6、粗、精磨头滚珠丝杆精度 0.01/300mm；
7、粗、精磨头丝杆工作磨削行程 0.8-0.91mm； 8、主动控制测量仪闭环控制精度小于 0.001mm；
9、粗、精磨空气电主轴上下换向运动加装柔性阻尼气缸抵销丝杆换向冲击；
10、金刚石磨轮直径310mm； 11、晶圆片磨至厚度0.09-0.1mm；
12、工件表面平面度小于0.005； 13、磨轮调至平面度不大于0.03；
14、滚珠丝杆运动直线度、侧母线直线度不大于0.01/300mm；
15、大盘真空吸盘平台工作转速300 rpm； 16、设备尺寸范围 4340x1570X2275；
17、设备重量约5000Kg；
