手动槽式清洗机技术参数
设备名称 多晶料清洗台
主要用途 主要用于多晶材料的清洗
控制模式 手动控制
主体尺寸 1180mm(L)*1180mm(W)*1825mm(H)
机台封面 选用进口PP板材
槽体尺寸 350mm(L)*300mm(W)*30omm(H)
槽体材质 NPP板材
槽体数量 三槽(酸槽+水槽/快排槽+超声槽)
主要功能 酸槽药液人工配比,手动排放
自动槽式清洗机技术参数
设备名称 全自动清洗机
主要用途 主要是对处理后的半导体材料的清洗
控制模式 手动/自动控制模式
主体规格 2800mm(L)*1000mm(W)*1900mm(H)
主要功能 采用进口PP材质(厚度≥10mm)或SUS板材(厚度≥2mm)
槽体设计模块化,满足客户多种需求
层流净化系统,内部洁净度优化
冲洗槽电阻率实时监测
药液温度控制
选配功能 全新自动热风循环烘干系统
自动配/补液控制系统
控制方式 PLC控制,配合人机界面操作
工艺运行状态/放据,实时监控
机械臂 机械臂自动运行,提放蓝(左进右出或右进左出)
机械臂垂直升降速度:≥600mm/s
机械臂水平移动速度:≥700mm/s