高精密数控异形磨床SOD31_其他_其他设备类_半导体加工设备_设备馆

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一、 设备名称、型号、技术规格

1、设备名称：高精密数控异形磨床

2、设备型号：SOD31

3、技术规格：

项目	单位	机型：SOD31
可磨削形状		圆形、椭圆、偏心、多边形
加工工件直径范围	mm	Φ5—Φ200
加工长度	mm	150
装夹方式		三爪或筒夹
X轴最大行程	mm	370
Z轴最大行程	mm	270
X轴直线电机推力（工作头架轴）	N	2800
Z伺服电机功率	KW	1.5
工作头转速	rpm	0-100
工作头旋转角度（手动）可选配自动	Deg	±15º
主轴转速	rpm	1000--4000 (电主轴)
砂轮主轴马达	KW	7.5
砂轮尺寸	mm	Φ40540127
砂轮最高线速度	m/s	65
X轴/Z轴最小进给单位	mm	0.001
X轴/Z轴最小解析单位	mm	0.001
头架最小旋转角度（自动选配）	Deg	0.001
控制系统(日本)	套	铼钠克
主轴跳动精度	mm	≤0.001
重复定位精度	mm	≤0.002
加工精度（标准试件）	mm	≤0.005
机器尺寸（长宽高）	mm	2230×1500×1950
机器重量	kg	4000

4、机床精度：

（1）机床精度检验表

（2）经过富信成集团异形磨床研磨(磨削)，须达到如下标准精度要求：(不同材质工件选用不同砂轮)

No.	机型	工件	真圆度	粗糙度
1.	SOD31	标准试样件	≤0.002mm	≤Ra0.25

注：粗磨 (一般情况研磨量 0.02~0.05mm)；精磨 (一般情况研磨量0.005~0.015mm)

二、设备描述：

1、本体

本体及构件采用米汉纳高级铸铁FC-30铸成。经人工正常化热处理，再经过自然时效处理。加工采用YASDA，MITSUI SEIKI，TOSHIBA ，ELB等世界一流设备一次装夹加工。精密尺寸可达微米级，确保设备基础构件高精度。

2、自动润滑系统

滑道、螺杆持续不断地受到自动润滑系统的润滑，确保更长使用寿命，及能长期保持最佳精度。冷却和润滑系统皆与机体分开，消除振动并且有利散热。

3、砂轮头进给系统

研磨进给采用最新直线电机推动，能获得平顺运动、优异的精度和重复性及较长的使用寿命。定位导轨采用THK高精密直线导轨定位。针对同一工件上的异形部分可以一次装夹磨削完成。
磨削产品形状2

4、砂轮主轴

砂轮电主轴系统，采用油冷却方式，并根据工件要求对线速度进行调整，得到更好的精度和粗糙度。

5、头架采用直线电机推动，砂轮运动轴配置日本THK直线导轨及滚珠丝杆传动，精密高，稳定性好。

6、电器组件

机台所有电器组件均采用日本富士的电器操作件运行，在运行的过程中不需要增加油路系统，所有的机台动力都是由电力带动的。

7、控制系统

机床控制系统采用日本铼钠克异形专用控制系统，配合沙迪克直线电机，得到较高的兼容性。程序运行稳定，进给精确，系统均进行了二次开发，无需手工编程，直接导入2D图纸，加工程序自动生成。