高精密无心磨床FX-18AS_其他_其他设备类_半导体加工设备_设备馆

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一、 设备名称、型号、技术规格

1、设备名称：高精密无心磨床

2、设备型号：FX-18BS

3、技术规格：

项目	单位	机型FX-18AS
标准机型加工范围(直径)	mm	Φ 1-60
研磨轮尺寸(外径宽内径)	mm	Φ455255Φ228.6
调整轮尺寸(外径宽内径)	mm	Φ265255Φ111.2
研磨轮转速	RPM	1520
调整轮转速	RPM	0-250
研磨轮驱动马达	KW	11.5
调整轮伺服马达	KW	3.0
油压泵驱动马达	KW	0.75
冷却泵驱动马达	KW	0.25
调整轮进刀手轮	mm	3.5/转 0.05/刻度
调整轮微调手轮	mm	0.1/转 0.001/刻度
工作台进刀手轮	mm	9.0/转 0.10/刻度
工作台微调整手轮	mm	0.2/转 0.001/刻度
修整进刀手轮	mm	2.0/转 0.01/刻度
调整轮倾斜角度	度	+6°～-5°
调整轮回转角度	度	±6°
机械尺寸	mm	2350×1960×1550
装箱尺寸	mm	2900×2400×1850
机械重量	KG	3000
装箱重量	KG	3200

4、机床精度：

（1）机床精度检验表（出机附带）

（2）经过富信成公司无心磨床磨削(通磨)，须达到如下标准精度要求：(不同材质工件选用不同砂轮)

No.	磨削方式	工件	真圆度	粗糙度
1	通磨	标准试样件	≤0.001mm	≤Ra0.1
2	切入磨（压磨）	标准试样件	≤0.002mm	≤Ra0.2

注：粗磨 (一般情况研磨量 0.05~0.15mm)；精磨 (一般情况研磨量0.005~0.02mm)

二、设备描述：

1、本体

本体及九大构件采用米汉纳高级铸铁FC-30一次铸成。经人工正常化热处理，再经过自然时效处理。九大构件加工采用YASDA，MITSUI SEIKI，TOSHIBA ，ELB等世界一流设备一次装夹加工。精密尺寸可达微米级，确保设备基础构件高精度。

2、主轴系统

采用台湾原装主轴，为 SNCM-21H合金钢，经调质、渗碳热处理后再经计算机控制深冷处理，其表层硬度达 HRC-62°以上，单边有效硬化层达1.5mm以上，主轴采用动压油膜主轴。

3、调整轮传动系统

调整轮主轴驱动马达为日本安川伺服马达(YAS KAWA)Servo Motor， FX-18S 转速控制 0-250rpm(数字控制)可任意设定转速，调整到最佳线速度，当调整轮外径变化时仍可保持相同的线速度，研磨出最佳产品。

伺服马达巧妙设计安装在调整轮箱上并用同步皮带直接传动，可以在研磨时与调整轮同时打倾斜角度，保证两皮带轮始终平行。克服了旧型无心磨床用链条多节传动产生的惯量损失和链条夹角带来的诸多不利影响。并且避免了经常更换链条和拉链弹簧。

4、主轴循环油系统

主轴自动润滑循环油(高级锭子油10#)与油压修整装置为同一油泵，外制油箱，清洗换油方便，主轴循环油经两个滤油装置过滤并装有压力控制器，确保主轴寿命。冷却采用双回路冷却系统，保障主轴油的恒温。

5、电路系统