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本系统是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低温平台采用范德堡法则设计的应用于高精度的测量半导体材料的载流子类型(P型/N型),载流子浓度,迁移率,电阻率,霍尔系数等参数。能够适用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等半导体材料。
特点:
keithley测试平台
功能丰富的软件
超高精度的源表
可视化的界面
模块化的设计
常温/高低温变温环境
一、产品特性:
(1)可靠的精度及重现性
keithley 2600/2400系列高精度源表(600pA~200mA)采用七级电流范围设置,将可以接收的误差降到最低,测试输出精度最高可达600pA;范德堡尔法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声,消除样品的能斯特效应,爱廷豪森效应和里纪-勒杜克效应。能快速的建立扫描,缩短测试时间, 有效的减少热磁效应。软硬件有针对性的设计,确保每个实验数据均为多次测试的平均值,使仪器拥有非常好的数据重现性。
吉时利2700/KEITHLEY2700系列数据采集/多路综合测试系统(KEITHLEY2700,2701和2750)将精密测量、程控开关和控制功能集成在一个紧凑的机箱内,可用于机架装配或测试台类的应用。这些高性价比、高性能的测试平台可替代分立的数字多用表、开关系统、数据记录仪/记录器、插卡式数据采集设备和VXI/PXI系统。
吉时利2700系列数据采集/多路综合测试系统的开关/控制模块为广泛的工业应用提供了出众的灵活性和测试效率。吉时利2700和吉时利2750无可比拟的优良特性,也为系统集成商提供了多通道、造价低廉的高性能自动测试系统方案。
插入式的模块具有灵活方便的特点,支持20~200个通道(双刀开关),可给待测器件提供激励源,切换信号通道,控制系统组件,而且能够实现多达14种功能的精密测量工作。可靠的数字I/O功能可以实现与其他自动化设备之间的触发与互连,以及超限报警输出功能。高达500通道/秒的扫描速率(单通道可达3500次读数/秒)大大提高了测试产能。
(2) 产品小型化及操作简单化 小尺寸的磁场强度输入系统使用永磁体和常温平台,可选配 semishare Polaris高低温平台(RT-100 摄氏度和 77K),同时,确保仪器操作非常简单;两种不同尺寸的传统样品板(20*20mm、6*6mm)及带弹簧夹片的样品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量,区别于传统样品板的弹簧夹片样品板使得霍尔电极制作更方便且对样品损伤更小。
(3) I-V 曲线及I-R 曲线测量 采用图表的方式,测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压及电流-电阻关系,并以此评判样品的欧姆接触好坏、了解样品的基本的电学特性。
(4)多样的实验结果 实验结果由软件自动计算得到,可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵 横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。
二、系统局部图片
(1)微型高低温探针台部分
(2) 运动控制系统
序号 名称 数量 功能
1 Y轴电机 1 控制磁铁前进/后退的动力部分
2 永磁铁组件 1 提供测试磁场
3 Y轴同步轮 1 磁铁前进/后退的传动部分
4 旋转轴齿轮 1 磁铁旋转的传动部分
5 旋转轴电机 1 磁铁旋转的动力部分
6 旋转硬限位 2 磁铁旋转轴的左右硬限位
7 Y轴硬限位 2 磁铁前进/后退的硬限位
(3)软件界面