Semishare Model LCVD 系列激光修复机_面板激光修复/检测设备_表面、内部检测_半导体测试设备_设备馆

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LCVD激光化学沉积就是用激光束的光子能量激发和促进化学反应的薄膜沉积方法。激光化学气相沉积

的过程是激光分子与反应气分子或衬材表面分子相互作用的过程。

LCVD激光化学沉积就是用激光束的光子能量激发和促进化学反应的薄膜沉积方法。激光化学气相沉积

的过程是激光分子与反应气分子或衬材表面分子相互作用的过程。

SEMISHARE LCVD系列激光修复系统
1. LCVD工作原理：用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线，通孔以减少线缺陷，进而提高良率。
激光CUT工作原理：利用激光精密切割，熔接功能，修复短路，断线，以减少线缺陷，进而提高良率。
成膜规格：
材质：Cr,Mo,W,Al
最小线宽：2 micron

特点：

稳定的修复结果

功能丰富的软件

超高的修复精度

可以编辑修复形状

0.1um精度的直线电机平台

自动AOI定位

极小的损伤

可做多工位设计

1um的激光精度

自动上下片

LCVD激光修复机
型号		LCVD-G6	LCVD-G8.5
外形		2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高)	4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)
重量		约7500公斤	约10500公斤
电力需求		380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max	380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max
可修复产品尺寸		长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm	长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
修复能力	沉积材质	W,Cr,Mo,Al	激光特性	激光系统	DPSS激光切割系统
	沉积线路速度	5~10um/s(厚度5000 Å)		激光系统	CW激光沉积系统
	单处缺陷修复时长	定位后，修复单处缺陷时间在5s左右		能量调节精度	0-1000 steps
	工艺参数	软件可以添加任意组工艺参数		能量调节精度	0-100%
	Cutting宽度	2um到50um可调		Slit 窗口调节大小	0~2.4mm
	沉积宽度	3um到30um可调		Slit 窗口控制精度	1um
	沉积边缘精度	+-0.5um		激光能量校准方式	自动校准
	沉积厚度	2000 Å ~15000Å可调		校准时间	3mins
	沉积线路的电阻值	<65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å)		激光能量校准精度	优于2%
	沉积稳定性	1.清洗机清洗次数>10 times		激光波长	Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm
		2.棉签蘸丙酮擦拭>500次		激光波长	CVD CW laser :NUV/UV
		3.强酸碱测试>1H		脉宽	< 12 ns
		3.毛刷擦拭>1H		光斑尺度	2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试)
		4.超声波1MHZ>1H		扫描面能量均匀性	优于5% IR
平台功能	Gantry结构	龙门式		激光寿命	Cut Laser:10亿次激发
	X-Y-Z运动行程	LVCD-G6 1500 185058mm(X-Y-Z)		激光寿命	CVD CW laser: 8000小时
	X-Y-Z运动行程	LVCD-G8.5 2500 220058mm(X-Y-Z)		修复工作模式	Scan扫描式和 Step模式
	X-Y运动速度	0~400mm/s可调		扫描路径	可任意定义路径
	精度(最小移动量)	0.1um	控制	工作模式	自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复
	Z 运动速度	0~2mm/s可调		工作模式	自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复
	精度(最小移动量)	0.1um		上下片	机械手或者流水线
	重复定位精度	+-5um		CIM系统	有
	修复对位精度	0.1um		减震	主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
光学特性	光路系统倍率：	50X~ 1000X		减震	主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
	光路系统倍率：	5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects		工业PC	23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
	光学分辨率	0.7um		工业PC	23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM
	物镜切换速度	0.2~0.7s		通讯接口	RS232/EtherCAT/GPIB等
	切换镜头偏差	小于3um		安全	整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作
	聚焦	激光自动聚焦			紧急开关EMO
	相机	200万像素			限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁
照明		平台有下光源，并且能够上下光源切换，屏蔽罩内安装照明，照度达到1000lux以上。			Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)
应用方向		TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复

Semishare Model LCVD 系列激光修复机

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