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Semishare LCD/OLED面板激光TEG测试机
产品品牌
semishare(森美协尔)
规格型号：
TEG G6/TEG G8.5 代大板
发货期限：
面谈天
库 存：
20
产 地：
中国
LCD/OLED面板激光TEG Prober 用于TFT-LCD 液晶面板制程中Cell段、Array段，OLED面板中Array段的TEG电学测试和线路分析，测试项目有面板的电容、电阻、短路、断路等，配合AOI视觉全自动检测定位系统和高性能激光器，还可以对面板缺陷进行镭射修复，如亮点、灰亮点、亮线、十字线等。
详情请咨询赵经理 15323433820
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| 面板TEG Prober |
| 型号 |
TEG prober-G6 |
TEG prober-G8.5 |
| 外形 |
2850mm(宽)x2500mm(长)x2500 mm(高) |
4000mm(宽)x3500mm(长)x2500 mm(高) |
| 重量 |
约9700KG |
约14200KG |
| 电力需求 |
380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max |
| 可测试液晶屏尺寸 |
长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 平台功能 |
Gantry结构 |
龙门式，可以选择双龙门 |
| X-Y-Z轴运动行程 |
1850*1500 *58mm(X-Y-Z) |
2500 *2200*58mm(X-Y-Z) |
| X-Y运动速度 |
0~600mm/s可调 |
探针规格 |
针卡 |
两套，可同时测试两个patten |
| X-Y精度(最小移动量) |
0.1um |
Pitch范围：定制 |
| X-Y重复定位精度 |
±1um |
探针材质：钨or铍铜等 |
| X-Y 轴驱动 |
直线电机+光栅尺 |
工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 |
| Z 运动速度 |
0~10mm/s可调 |
| Z精度 |
0.25um |
探针和TEG对位方式 |
坐标定位 |
| Z重复定位精度 |
±1um |
测试过程中的二次视觉检测 |
| Z轴驱动 |
伺服电机+光栅尺 |
探针和TEG的接触方式 |
自动接触 |
| Z轴保护 |
电机自锁+机械限位保护 |
探针自动保护功能:edge sensor 和机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，点针的OD值可设。 |
| 样品台平整度 |
±50um平整度 |
| 样品台涂层 |
防静电涂层 |
| 样品台高低温 |
Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) |
| 光学特性 |
光路系统倍率： |
5X ,10X ,20X，50X Objects
|
探针轴旋转行程 |
±90° |
| 放大倍率范围50X~ 500X |
探针旋转精度 |
0.01° |
| 聚焦 |
自动聚焦 |
旋转重复定位精度 |
0.03° |
| CCD |
200/500万像素工业相机 |
探针清洁 |
自动清针 |
| 光源 |
面背光、点背光、上光源 |
清洁后自动测针 |
| 光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制 |
探针台漏电精度（安装针卡的情况） |
100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压—5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启N2且N2测试报告体现开N2与不开N2区别) |
| 激光特性（选件） |
激光系统 |
激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) |
| 0-100% |
| 激光波长 |
1064nm，532nm，355nm |
| 光斑尺度 |
1.0um @100X object |
测试能力 |
测试系统 |
两套 |
| 2.0um @50X object |
半导体参数测试系统:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元+高精度矩阵开关等 |
| 工作模式 |
One Shot/Burst/Continue |
| 形状 |
可调节的矩形 |
TFT测试项目 |
Ion |
| 控制 |
工作模式 |
自动测试，CIM通讯，实现数据的自动导入和输出 |
Ioff |
| Vth |
| 上下片 |
机械手或者流水线 |
Mobility |
| CIM系统 |
有 |
Swing |
| 减震 |
被动式减震系统，能够确保点针测试的稳定性 |
Resistance测试项目 |
Rs |
| 工业PC |
23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块 |
Rc |
| (其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡 |
最大输送电压 |
±200V |
| 通讯接口 |
RS232/485/TCP/IPGPIB等 |
最大输送电流 |
±1A |
| 安全 |
整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 |
电流测试分辨率 |
1fA（无需前置放大器） |
| 紧急开关EMO |
电压测试分辨率 |
0.5uV |
| 限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁 |
CV 测试频率范围 |
1kHz~5MHz |
| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) |
接地单元电流宿能力 |
4.2A GNDU |
| 应用方向 |
OLED/TFT-LCD Panel TEG 电学测试 |
| |
| 特点： |
| 业界最快的测试速度 |
超高的测试精度 |
| 稳定的测试结果 |
mult-probe card设计 |
| 0.1um精度的直线电机平台 |
自动清针，自动测针 |
| 极小的针痕损伤 |
全自动测试 |
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