Kosaka 6寸台阶仪_台阶仪_表面形貌测试_半导体测试设备_设备馆

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Kosaka 6寸台阶仪

ET150 产品特性

• 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震；

• 独家专利的直动式传感器设计；

• Z方向分辨率0.1m；重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；

• Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）；

• 样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；

• 高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm，Y方向最大移动 150mm；

• 选配三维测量功能。

极佳重复性与线性度

• 采用直动式检测方式；

• 可避免圆弧补正误差；

• 可避免Bearing间隙误差；

• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；

• Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）。

高分辨率

• 纵轴最高分辨率0.1nm；

• 横轴最高分辨率0.1um；

• X测定速度可调：5μm~2mm/s；

• 可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等。

超高垂直直线度

• 垂直直线度：任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度；

• 可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告；

• 超高垂直直线度精度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；

• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。

位移光栅尺与时间取样

ET150绝佳的设计达到最佳的测量效果

• 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

→ 最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性

• 直动式检测器

→ 最佳的测量重复性&线性度，确保各样品台阶测量的精度、准确度

• 样品台超高的垂直直线度保证

→ 进一步提高台阶测量精度，确保样品形状不变形

• 样品台X方向光栅尺定位，最长测量距离100mm，最快测量速度5μm/s

→ 样品周期性结构不失真，长距离有利于测定多种国际参数

形状及粗度解析果

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；

超大测定力范围

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定；

• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

成交客户（包括但不限于）