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Filmetrics 薄膜厚度测量系统F20，F30，F40，F50，F60，F3-XXT
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| 详细介绍 | ||||
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测量膜：平面，半透明，吸光膜。
非晶硅，硅晶片
如果要获得光学指数，基板应该是平坦的和反射的。如果衬底是透明的，则应该进行反射处理。 基板：Si，Al，GaAs，钢，聚合物薄膜， 聚碳酸酯
最强大的工具可用于监测薄膜沉积。用F30光谱反射系统实时测量沉积速率，薄膜厚度，光学常数（n和k）以及半导体和介质层的均匀性。
F40产品系列适用于需要小至1微米的光点尺寸的应用。对于大多数显微镜，F40只需连接到摄像机安装的行业标准Cmount适配器。
几乎任何样品形状的厚度和指数的全自动映射。手动加载和机器人加载系统是可用的。
Filmetrics F60-t系列可以像我们的F50产品一样映射薄膜厚度和索引，但是它还包含许多专门用于生产环境的功能。其中包括自动缺口查找，自动机载基线测量，带运动互锁的封闭式测量平台，预装软件的工业计算机以及升级到完全自动化晶圆处理的选项。
不同的F60-t仪器主要根据厚度和波长范围进行区分。通常需要较短波长（例如F60-t-UV）来测量较薄的膜，而较长的波长允许测量更厚，更粗糙和更不透明的膜。
F3-XXT专门设计用于测量非常厚的层，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中经常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness软件模块，可以在几分之一秒内测量5μm至1000μm厚的硅。视频成像可以与SampleCam-XXT一起添加。
XY8自动阶段可以添加自动XY映射功能。自动对焦选项也可用。 为了测量更薄的层（小于0.1μm），可以添加可见波长光谱仪。 与我们所有的厚度测量仪器一样，F3连接到Windows™计算机的USB端口，并在几分钟内完成设置。 |
