“Certas WING”设计用于加工300mm晶圆,是Certas的第二代系统。这是一种环保,高产量的气体化学蚀刻系统,可以在不使用清洗液的情况下进行表面蚀刻和清洗。与湿式清洁相比,已经完全干燥的处理单元不使用化学品,不需要昂贵的废物处理设备,并且具有改进的可维护性。它消除了水印,并提供了各种氧化膜蚀刻的独特选择比例,细微的界面清洁控制,与TEL清洁系统一起使用时具有更高的灵活性。它支持从批量生产到下一代开发的广泛应用。
特征
独特的氧化膜选择性蚀刻和气体化学品预处理
新的腔室设计实现了高吞吐量(大约两倍)和小占用空间
无等离子处理可实现耗材的高正常运行时间和低成本
应用
氧化硅膜的蚀刻和回蚀
硅触点预清洗
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