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    美Coherent ExciStarXS准分子激光器

    产品品牌

    美Coherent

    库       存:

    1

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:美Coherent

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-其它光刻设备

     
    美Coherent ExciStarXS准分子激光器

    详细介绍

    超紧凑、轻型、高度可靠的紫外线光源

     

     

    型号名称

    波长 (nm)

    最大脉冲频率 (Hz)

    最大脉冲能量 (mJ)

    最大功率 (W)

    ExciStar XS 200

    157

    200

    2

    0.2

    ExciStar XS 500

     

    500

     

    0.5

    ExciStar XS 200

    193

    200

    10

    1

    ExciStar XS 500

     

    500

     

    2.5

    ExciStar XS 200

    248

    200

    12

    1.6

    ExciStar XS 500

     

    500

     

    4

    ExciStar XS 200

    351

    200

    5

    0.8

    ExciStar XS 500

     

    500

     

    2


    ExciStar Performance at 193 nm and 248 nm/500 Hz



     

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