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俄罗斯 Optosystem准分子激光器CL7000
产品品牌
俄罗斯 Optosystem
库 存：
1
产 地：
中国
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准分子激光器： CL7000, 俄罗斯 Optosystem
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000系列技术参数：
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型号
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ArF
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KrF
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XeCl
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波长
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193 nm
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248 nm
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308 nm
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管材料
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陶瓷
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预电离
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火花
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标准脉冲能量
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250 mJ
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400 mJ
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300 mJ
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平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100
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5 W
10 W
20 W
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8 W
20 W
35 W
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6 W
15 W
25 W
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最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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20 Hz
50 Hz
100 Hz
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脉宽
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17 ns
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20 ns
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20 ns
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脉冲稳定度
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sigma < 2%
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光斑大小
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6 x 20 mm
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6 x 21 mm
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7 x 22 mm
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光束发散角
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1.5 x 4.5 mrad
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时间抖动
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< 2 ns
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尺寸, (重量)
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1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
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冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）
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功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA
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气体
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1 premix cylinder
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控制接口
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RS 232, DOS/Windows
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