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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
产品品牌
瑞典Mycronic
库 存：
1
产 地：
全国
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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
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| 详细介绍 |
掩膜计量系统
证明您的质量
为了说明产品是符合规范的，您必须证明激光掩膜上的图形能够在制造显示屏时恰当地对齐。为了实现这一点，您需要比光刻机精度更高的测量设备。
主要优势
*更佳的配准 30%
*更好地将掩膜套合到掩膜上 20%
*更短的周转时间30%
· 最新的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性
· 用我们的专利技术改善配准测量。
· 因为第一次测量的结果精确无误，这大大给您节省了周转时间。
· 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。
基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在，您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了！
为充分利用其性能，您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的，这样您的光掩膜才能以最高的质量描绘出来。
Prexision-MMS 提供两个型号。G8 型最高可处理用于 8 代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于 G10 型，最高可处理 11 代显示器尺寸。
技术指标
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Prexision-MMS
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掩膜对掩膜套合3σ[nm]
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40
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配准3σ[nm]
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65
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关键尺寸可重复性3σ[nm]
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50
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最大尺寸
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G8
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