3D非接触式激光轮廓仪_表面轮廓仪_表面形貌测试_半导体测试设备_设备馆

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非接触式轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器

产品原理

该PF-60，由自动聚焦激光束显微镜（AF显微镜）和高精度的XY扫描移动轴。自动对焦显微镜测量在Z轴方向高度和XY载物台移动的样品，以获得二维和三维的XYZ坐标值，进行形状测定。

自动对焦系统

高度测量用的AF显微镜，是通过上图红色激光束光路，以一个半径为0.5μm的激光探针通过透镜，在工件表面成像。

反射的激光束从工件表面再通过透镜，在AF传感器上成像，激光对焦位置发生改变，AF传感器上的激光位置也会发生变化。

AF传感器上位置变化被实时检测出来，根据激光位置的变化反应到AF的机构部，由AF显微镜成像决定焦点位置。

XY移动轴扫描

高精度的XY移动台，在移动中能够读取XY坐标值，可移动范围内

(60mmx60mm)可连续测量。无需受限视野，无需数据的拼接，可实现广范围高精度的连续测量。

产品应用范围:

作为新的高科技产品，三维激光扫描仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。

在汽车、摩托车、制冷行业可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等并可测量各种斜形零件的参数。

在轴承行业可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);

各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线;

电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的

沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。

产品特点：

快速高精度激光点对焦

测量时间短，测量方便

可对应低反射率样品

可对应大斜率样品表面

广范围/高精度测定

极其优异的角度追踪性