三坐标测量仪_表面形貌检测_表面、内部检测_半导体测试设备_设备馆

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三坐标测量仪可定义为一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统 ( 如光学尺 ) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度测量、定位精度测量、几何精度测量及轮廓精度测量等。任何形状都是由三维空间点组成的，所有的几何量测量都可以归结为三维空间点的测量，因此精确地进行空间点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。

工作原理

三坐标测量机的基本原理是将被测零件放入它允许的测量空间范围内，精确地测出被测零件表面的点在空间三个坐标位置的数值，将这些点的坐标数值经过计算机处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据。

产品应用范围：

广泛应用于机械、电子、模具、汽车、航空航天等行业的计量检测，确保产品的形状和位置公差符合要求。

产品特点：

u 工作台支撑点采用3+2支撑方式，三个主支撑点经过严密计算，保证工作台变形量最小，提高测量机精度。两个辅助支撑点确保测量机的稳定、安全、可靠。

u 框架采用全封闭结构，采用优质铝合金材料，即保证了框架的刚度又减轻了框架的重量，提高了框架运动平稳性，提高了测量机动态测量精度。

u X、Y、Z三轴导轨均采用精密级花岗岩气浮导轨，三轴具有相同的温度效应，保证了测量机精度。

u 花岗岩气浮导轨气浮布置严格按照面、线、点定位原则，做到既不过定位又不失定位，即保证测量机的精度又保证安装工艺性。

u X横梁采用专利技术，梯形截面45°放置技术，是相同高度、宽度矩形横梁气浮跨距的1.4倍，有效的提高了测量机精度。

u Z轴采用低摩擦气缸平衡重力技术，可实现随时调节平衡重力，同时提高了Z轴运动平稳性，提高了测量机动态测量精度。

u 整机采用先进的有限元分析设计，对零件进行结构优化设计。
u 设备依托现代工业设计理念，充分考虑了人机工学特点，使设备具有操作舒适性。

u 设备采用多重防护措施，如：Z轴平衡气缸压力实时检测保护、开机空气轴承延时通气保护、空气轴承工作压力实时检测、软限位、电限位、硬限位三重保护功能、长时间无人操作断电保护等多项保护功能，大大提高了设备的使用安全性。

u 配置了精密级气源过滤器，对油、水过滤精度可达0.1um，过滤率达99.93%，保证了花岗岩气浮导轨安全可靠运行。

u 驱动系统采用国际知名品牌的高性能直流伺服电机、同步齿形带传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳；

u 采用进口精密光栅系统为测量机提供了准确可靠的长度计量基准，保证了机器测量的重复性；

u 测量机出厂前经过质检部门48小时连续无故障空运行试验，保证了机器测量过程中的稳定性；

u 配备进口测头系统可满足多种测量需要；

测量范围:

X:700 ~ 8000毫米

Y:500 ~ 5000毫米

Z:500 ~ 4000毫米

(可定制范围)

指示长度测量误差:(1.3 ~ 12)+(1.3 ~ 12)L / 1000μm(L =毫米)