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台面布局：
整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。
由于工艺槽内药液腐蚀性强，设备需要做防腐处理：
（1）设备机架采用钢结构骨架包塑；
（2）壳体采用瓷白色PP板材焊接成型，制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成；
（3）电气区设置在设备后上部，与湿区和管路区完全隔离；
（4）槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料；
（5）机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟/套PFA管/teflon定制，以期达到防腐耐用；
（6）药液管路中，管子、阀门、接头均为PFA材质；
（7）纯水管路采用C-PVC
